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¿Cuáles son los roles críticos de los resortes de alta precisión en los equipos de semiconductores?

Aplicaciones clave:

  • Fotolitografía de máscara de máscara de amortiguación de la etapa
    (Control de vibración a nivel nanométrico)

  • Springs de contacto robótico de vacío resortes de contacto
    (Diseño a prueba de contaminación de partículas)

Requisitos especiales:

  • Tratamiento de no magnetización (permeabilidad relativa μ ≤ 1.01)

  • Embalaje ultra limpio (estándar de sala limpia de clase 1000)